三維形貌儀是采用自主核心的技術(shù)研制開發(fā)并成功推出的高精密測量儀器。儀器采用白光干涉原理，測量樣品表面微細(xì)形狀分布。是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)和加工技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、精密控制技術(shù)、計(jì)算機(jī)高速采集和控制技術(shù)、高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測量?？梢钥焖贉y量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應(yīng)用范圍廣泛。儀器分高精度型(PR06系列)和標(biāo)準(zhǔn)型(PR05系列)，滿足用戶不同級別的測量需求。
 

　　工作原理：
 

　　三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
 

　　系統(tǒng)構(gòu)成：
 

　　光學(xué)照明系統(tǒng)　采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm
 

　　光學(xué)成像系統(tǒng)　采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
 

　　垂直掃描系統(tǒng)　采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)、移動(dòng)范圍0-500μm、位置移動(dòng)精度 0.1nm
 

　　信號處理系統(tǒng)　計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析
 

　　三維形貌儀主要特點(diǎn)：
 

　　包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式
 

　　試用于幾乎所有的表面
 

　　透明，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料。
 

　　垂直臺(tái)階，高寬深比，隆起，孔洞。
 

　　脆性的材料，軟材料，柔性材料表面。
 

　　尖銳的，堅(jiān)硬的，磨損的表面。
 

適應(yīng)性強(qiáng)
 

　　白光光源，人體安全設(shè)計(jì)，長壽命白光LED 免維護(hù)?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
 

　　接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的結(jié)合。
 

　　接觸式輪廓儀針尖掃描采用的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用別光學(xué)參考平臺(tái)能使長程掃描范圍到150mm。
 

　　掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察。
 

　　針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測量動(dòng)態(tài)范圍(大至500μm)及亞納米級垂直分辨率　(小0.1nm )。
 

　　軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.1 to 100[mg])。
 

　　高精度
 

　　的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm(光學(xué)非接觸式)。
 

　　對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性。
 

　　沒有機(jī)械過濾。
 

　　寬闊的垂直測量范圍
 

　　多種選擇光學(xué)頭及接觸式。
 

　　縱向掃描范圍 300 to 3900 μm。
 

　　圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)。